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工研院牵头承担的国家重点研发计划“智能传感器”重点专项在上海召开启动暨实施方案论证会

2022-08-26

       8月26日,上海新微技术研发中心有限公司(简称“工研院”)牵头承担的国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“8英寸MEMS传感器加工中试平台”项目启动暨实施方案论证会在上海召开,会议采用线上线下结合方式进行,项目专家组、项目负责人、课题负责人以及来自工研院、中科院上海微系统所、复旦大学、光华临港等单位的项目组骨干成员共40余人参加了会议。

      上海新微技术研发中心有限公司董事长谢晓明研究员首先代表项目牵头单位对与会领导及专家表示热烈欢迎,希望专家们对项目实施方案提出宝贵意见和建议,并介绍了工研院在MEMS传感器加工制造领域扎实的研究基础,表示将为项目实施提供全方位的支持和保障,确保项目顺利推进并取得突出成果。

       项目负责人武震宇博士从项目研究背景与目标、技术路线、课题设置、实施计划、组织管理、保障措施、年度目标与考核节点及存在风险与应对等方面详细汇报了项目基本情况和实施方案。专家组对项目建设8英寸MEMS传感器加工中试平台的重大作用,以及研究团队前期基础、项目关键共性技术方案等方面给予了充分肯定,并围绕项目关键技术指标、成套工艺及平台服务能力等方面进行了质询,提出了具体意见建议。

       最后,专家组通过质询讨论形成论证意见,认为项目实施方案满足项目任务书要求,技术路线、考核指标、阶段目标及任务分工基本明确,计划安排基本合理,实施方案合理可行,一致同意通过项目实施方案论证。

       本项目将针对核心MEMS传感器定制化加工需求,建成工艺能力完善、服务能力强的8英寸MEMS传感器加工中试平台,为广大高校、科研院所、MEMS Fabless企业等提供高效率、高质量研发中试服务,为量产客户提供定制化、小批量的流片服务,支撑国家重大项目和产业发展。

 

       上海微技术工业研究院(SITRI)成立于2013年,由新微科技集团联合多家单位共同发起成立,是集研发、工程、培育于一体的研发与转化功能型平台,为创新企业及合作伙伴提供服务和支持。目前,上海工研院已与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系,实现创新成果的高效率产业化,加速“超越摩尔”产业生态系统建立。

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