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        上海微技术工业研究院(简称“上海工研院”)成立于2013年,是由上海市科委、嘉定区政府和中科院上海微系统所共同建设的研发与转化功能型平台,也是上海科创中心的“四梁八柱”之一。上海工研院致力于“超越摩尔”技术和物联网应用的创新和产业化,集研发、工程、培育于一体,为创新企业及合作伙伴提供多元化的服务和解决方案。

       上海工研院已建成三大服务与培育平台,覆盖工艺研发、设计服务与工程测试三个方面,初步搭建MEMS先进传感器、AlN、硅光、集成生物等技术平台,应用于智慧出行、5G通信、生命信息、人工智能、物联网等五大领域。

       上海工研院的工艺研发平台以“超越摩尔”8寸研发中试线为基础,技术能力覆盖CMOS先进工艺及MEMS特殊工艺,可进行各种MEMS产品的研发和小批量生产。8寸线近5000平方米的洁净室,可以开展表面硅、体硅、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产;具有MEMS、压电AlN、硅光、生物微流控等相关工艺的生产和评价设备,大幅提升产品研发的成功率,实现产品从研发到量产的无缝衔接,从而打造MEMS及其它“超越摩尔”技术从研发到量产的高效平台;同时,上海工研院积极在设备与材料领域开展战略布局,打造设备材料研发合作平台。在与客户的产品合作开发模式上,通过联合研发、工艺整合与开发、生产对接、项目培育等多种创新形式,缩短研发与制造周期,加快产品迭代,推动科技成果的转化与产业化。

       上海工研院的设计服务平台以MEMS传感器、硅光子、模拟、射频、存储器、功率器件、SOI、生物光电子工艺平台等为核心,提供建模设计、工艺/流片、PDK优化、封测、产品设计等服务,为“超越摩尔”领域的创新创业提供多方位的技术支持,加快产品面世和缩短技术迭代周期。

       上海工研院的工程测试平台面向“超越摩尔”及物联网领域企业,依托系统的分析测试设备、自主开发的EDA软件以及经验丰富的科研团队,提供专业的技术分析和测试服务,包括电子产品分析、工艺分析、电路分析、MEMS晶圆及成品测试、IGBT模块测试的技术支持,并提供芯片设计和产业咨询等相关服务。

       经过八年的耕耘,上海工研院已与众多的产、学、研组织建立了合作关系,实现创新成果的高效率产业化,加速“超越摩尔”技术发展和物联网的生态系统建设。

 

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